Боцула О. В. Методичні вказівки до практичних занять з курсу «Фізико-технологічні основи мікро- та наноелектроніки» для студентів спеціальності «Радіофізика та електроніка», «Біомедична електроніка». Розділ 1. Матеріали і технологічні процеси в мікроелектроніці / О. В. Боцула. – Х. : ХНУ імені В. Н. Каразіна, 2015. – 36 с.