Методичні вказівки до практичних занять з курсу «Фізико-технологічні основи мікро- та наноелектроніки» для студентів спеціальності «Радіофізика та електроніка», «Біомедична електроніка». Розділ 1. Матеріали і технологічні процеси в мікроелектроніці

В методичних вказівках містяться відомості та рекомендації щодо розв’язання задач на практичних заняттях з курсу «Фізико-технологічні основи мікро- та наноелектроніки», що входять до першого розділу «Матеріали і технологічні процеси в мікроелектроніці». Призначені для студентів спеціальностей «Радіофізика та електроніка», «Біомедична електроніка» напряму підготовки «Магістр».